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日本canon-anelva真空計M-351PG

更新時間：2024-08-01

簡要描述：

日本canon-anelva真空計M-351PG
ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）
ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：986
品牌其他品牌貨號M-351PG
規(guī)格1供貨周期一個月以上
主要用途真空計應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子,電氣
精度（Pa）±50％：5×10-2　～　1×10-1

日本canon-anelva真空計M-351PG

日本canon-anelva真空計M-351PG

ピラニゲージ（耐蝕型） M-351PG（真空計）

ピラニゲージ（耐蝕型）  M-351PG

 該機型采用鎳絲提高耐腐蝕性能，兼容RIE、CVD等硬工藝設(shè)備

 特征 提高耐腐蝕性 采用鎳絲等 重現(xiàn)性好，價格低廉 大氣壓從 5 × 10-2 Pa 用 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備 干蝕刻設(shè)備、等離子CVD設(shè)備、LD-CVD設(shè)備等。 食品/醫(yī)藥制造設(shè)備 真空冷凍干燥、真空蒸餾設(shè)備、殺菌設(shè)備等

 

仕様

型　名M-351PG-SP
（Ｎｉフィラメント仕様）（セットポイント付タイプ）
測定圧力範囲5×10-2～1×105（Pa）
精度（Pa）±50％：5×10-2　～　1×10-1
±15％：1×10-1　～　1×104
±50％：1×104　～　1×105
再現(xiàn)性±2％?。骸?×10-1　～　1×104Pa
入力電圧DC+14～30V
消費電力2W
アナログ出力0～10V
ゲージ認識抵抗値13KΩ（D-sub5-9番ピン間）
セットポイント2接點出力（1A30V,DC）
インターフェース－
入出力コネクタD‐sub9ピン
最大ケーブル長200ｍ（0.34mm2）対応可能＊1
使用溫度範囲5～60℃
保存溫度範囲-20～70℃（非動作時）
ベーキング溫度＜＋150℃（Oリング仕様、ゲージヘッドのみ）
＜＋300℃（メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ）
許容過負荷圧力1MPa（継手形狀NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧）
適合ピラニセンサ型名MP-2
フランジ形狀NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(zhì)（主要部）ピラニフィラメント：ニッケル
センサーチューブ：ステンレス
導(dǎo)入端子絶縁部：コバールガラス＋Al2O3コート
対応CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

＊1）M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100ｍとなります。

 

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