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18511227625更新時間：2024-08-01
M-320XG真空計canon-anelvaクリスタルゲージ M-320XG（真空計）クリスタルゲージ M-320XG
| 品牌 | 其他品牌 | 貨號 | M-320XG |
|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 1 | 供貨周期 | 一個月以上 |
| 主要用途 | 真空計 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,電子,電氣 |
| 測量壓力范圍 | 1×10-2Pa |
M-320XG真空計canon-anelva
M-320XG真空計canon-anelva
可在從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 的廣泛范圍內(nèi)進(jìn)行高度可靠的測量。 由于晶體振蕩器的諧振阻抗根據(jù)壓力而變化，因此重現(xiàn)性更高，可以在大氣壓附近進(jìn)行高穩(wěn)定性的測量。 它可用作壓力開關(guān)，用于檢測腔室中的大氣壓力通風(fēng)口，也可用于測量過程壓力
特征 測量范圍廣 從大氣壓到 1 x 10-2 Pa 范圍內(nèi)的測量具有出色的再現(xiàn)性。 安全性高 水晶真空計是一種沒有熱源（燈絲）的真空計。 緊湊且超輕 控制器只有手掌大小，僅重 200 克
用 各種真空裝置的粗加工壓力測量 各種過程的壓力測量 用于檢測腔室通風(fēng)口等的壓力開關(guān)。 從大氣壓到10-2P*別的其他壓力測量
| 型 名 | M-320XG | |
|---|---|---|
| 測定球 | XG-1クリスタルゲージヘッド（クリスタルゲージ専用） | |
| 測定圧力範(fàn)囲 | 1×10-2Pa～大気圧 | |
| Gas種選択 | N2、Ar、H2、Air | |
| アナログ出力 （圧力信號） | DC 0-10V：デジットスイッチにより下記項目出力形式設(shè)定 ①Log出力 ②複合出力 ③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能（1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa） | |
| リモートI/O | INPUT | ①ガス種設(shè)定 2bit信號で切換 ②ゼロ點調(diào)整 ③ATM設(shè)定 |
| OUTPUT | セットポイント出力2點 | |
| セットポイント | 2點（フォトカプラ出力、ヒステリシス固定） デジットスイッチにより設(shè)定（SP1、SP2共仮數(shù)部、指數(shù)部） | |
| 動作環(huán)境 | 5℃～50℃（コントローラー含む） ゲージヘッドのみの耐熱溫度150℃MAX | |
| ゼロ點調(diào)整 | PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調(diào)整 | |
| フルスケール調(diào)整 | トリマーボリュームによる調(diào)整 | |
| 入出力コネクタ | Dsub 15P | |
| 表示 | LED 3ヶ（PWR／ALM???緑／赤の2色発光、SP1-Status???緑、SP2-Status???緑） | |
| 所要電力 | DC 22V～33V、（最大消費電力2W） | |
| 外形寸法（mm） | 72.5H×102W×44.5D（ゲージヘッド含まず） | |
| 質(zhì)量 | 200g（ゲージヘッド含まず） | |
| センサー取り付けフランジ | NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等 | |
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