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kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

更新時間：2024-08-01

簡要描述：

kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源
濺射用直流脈沖電源
DC出力及びパルス出力が可能
出力のパルス化により、異常放電を軽減

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：614
品牌其他品牌貨號SAT-56S
規(guī)格1供貨周期一個月以上
主要用途SAT-56D應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子,電氣
電壓AC180V?AC480V

kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

 

スパッタリング用DCパルス電源

SAT-56S/SAT-56D

 特征 可直流輸出和脈沖輸出 輸出脈沖減少異常放電 配備碳化硅器件 通過使用 SiC 元件實(shí)現(xiàn)理想的方波脈沖輸出 另外，裝置的模塊化實(shí)現(xiàn)了緊湊化和高效率化。 減少基板和陰極損壞 異常放電時高速關(guān)斷，減少電弧放電造成的損壞

 內(nèi)部單元之間的同步 可以在內(nèi)部單元之間進(jìn)行同步/異步選擇 可以控制同步和相移

 

ラインナップSAT-56SSAT-56D
入力仕様入力電圧AC180V?AC480VAC180V?AC480V
相數(shù)?周波數(shù)3相3線 50/60Hz3相3線 50/60Hz
入力電流40Amax20Amax
入力容量12kW6kW
出力仕様出力波形DC及び矩形波パルスの選択が可能DC及び矩形波パルスの選択が可能
接地プラス端子接地によるマイナス出力プラス端子接地によるマイナス出力
定格電力5kWmax×25kWmax
定格電圧-650Vmax-650Vmax
定格電流15.4Amax15.4Amax
制御方式定電力?定電流?定電圧制御定電力?定電流?定電圧制御
出力精度定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設(shè)定値の±1%以內(nèi)
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方		定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設(shè)定値の±1%以內(nèi)
若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方

 

 

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