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HORIBA堀場電導(dǎo)率儀HE-480C-GC

更新時間：2024-07-30

簡要描述：

HORIBA堀場電導(dǎo)率儀HE-480C-GC
總覽
隨著器件的發(fā)展，在半導(dǎo)體制造工藝的濕法工藝中使用的化學(xué)物質(zhì)類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學(xué)性的傳感器來測量化學(xué)物質(zhì)的電導(dǎo)率，是處理過程中的濃度控制，化學(xué)物質(zhì)稀釋控制和超純水循環(huán)監(jiān)控的理想選擇。

特征
優(yōu)異的耐化學(xué)性和耐壓性能
通過采用具有高耐壓和高耐化學(xué)性的特殊電極，它是化學(xué)處理后測量DIW Rince的電導(dǎo)率值以及在循

型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：902
品牌其他品牌最小分辨率1μs/cm
精確度1FS溫度測量范圍 ０～100℃℃
鹽度測量范圍1ppt電阻率測量范圍1MΩ·cm
TDS測量范圍1g/l電導(dǎo)率測量范圍1mS/cm
價格區(qū)間1萬-2萬檢測參數(shù)多參數(shù)
儀器種類臺式應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保

HORIBA堀場電導(dǎo)率儀HE-480C-GC

 碳傳感器電導(dǎo)率儀低濃度HE-480C-GC型

 總覽
隨著器件的發(fā)展，在半導(dǎo)體制造工藝的濕法工藝中使用的化學(xué)物質(zhì)類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學(xué)性的傳感器來測量化學(xué)物質(zhì)的電導(dǎo)率，非常適合在處理過程中進行濃度控制，化學(xué)物質(zhì)稀釋控制和超純水循環(huán)監(jiān)控。

特征
優(yōu)異的耐化學(xué)性和耐壓性能
通過采用具有高耐壓和高耐化學(xué)性的特殊電極，非常適合化學(xué)處理后測量DIW Rince的電導(dǎo)率值以及在循環(huán)管線中進行測量。
無金屬污染
因為特殊的碳被用作電極材料，所以沒有洗脫金屬污染物的風(fēng)險。
溫度測量/顯示功能
使用溫度補償元件Pt1000Ω?？梢赃M行溫度測量和顯示。
同時顯示測量值和參數(shù)設(shè)置
您還可以在進行設(shè)置和調(diào)用設(shè)置值時檢查測量值。
內(nèi)置豐富的溫度補償功能
您可以選擇超純水的溫度特性（參考溫度25°C），NaCl溫度特性以及參考溫度和溫度補償系數(shù)的可選設(shè)置，因此可以根據(jù)所測溶液進行溫度補償。
帶有圖標和安全功能的增強狀態(tài)顯示
用圖標顯示儀器的狀態(tài)。易于理解的顯示可防止操作錯誤。此外，通過設(shè)置安全代碼，所有按鍵操作均被鎖定，以防止由于故障而導(dǎo)致測量錯誤

 

 

仕様

指示変換器

形式

HE-480C-GC

測定方式

2電極方式

センサ入力

1チャンネル

溫度センサ仕様

白金抵抗體1000Ω/0℃

繰り返し性

※1 ±0.5％フルスケール以內(nèi) 
※2 ±1.0％フルスケール以內(nèi) 
※3 ±1.5％フルスケール以內(nèi)
（等価入力にて）

直　線　性

※1 ±0.5％フルスケール以內(nèi) 
※2 ±1.0％フルスケール以內(nèi) 
※3 ±1.5％フルスケール以內(nèi) 
（等価入力にて） 
 

伝送出力

出力點數(shù)：1點 
DC4～20mA  入出力絶縁形  大負荷抵抗：900Ω 
伝送出力レンジ： 測定範囲內(nèi)で任意設(shè)定可

接點出力

出力點數(shù)：2點 
警報接點出力（R1、R2） 
　接點形態(tài)：リレー接點 SPDT（1c） 
　接點容量：AC240V 3A、DC 30V 3A（抵抗負荷） 
　接點機能：上、下限動作（ON/OFF制御）、USP判定、異常警報、 
 保守中より選択設(shè)定

校正機能

導(dǎo)電率：セル定數(shù)の補正係數(shù)入力による（パラメータ入力） 
溫　度：基準溫度計との比較校正 
T D S：任意係數(shù)（0.30～1.00）による換算

ホールド機能

直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設(shè)定
（ただし、メンテナンスモードでは直前値ホールドになります）

自己診斷機能

  • センサ診斷（溫度センサ短絡(luò)、溫度センサ斷線）
  • 測定範囲外
  • A/Dコンバータスケールオーバー
  • 変換器異常

溫度補償

  • 超純水の溫度特性（基準溫度25℃）
  • NaClの溫度特性
  • 基準溫度と溫度係數(shù)任意設(shè)定（基準溫度：5～95℃　溫度係數(shù)：±5％/℃）

溫度補償範囲

０～100℃

周囲使用溫濕度

溫度：-5～45℃、濕度：20～85％（結(jié)露しないこと）

電源

AC100～240V ±10％  50/60Hz  10VA（max）

保護構(gòu)造

パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部：IP00(パネル取付屋內(nèi)設(shè)置型)

質(zhì)量

約400g

適合規(guī)格

CEマーキング、FCC Part15

組合せセンサ

ESHシリーズ導(dǎo)電率GCセンサ

 

センサ

形式

ESH-01-L-GC5-Y-10M

ESH-1-L-GC9-Y-10M

セル定數(shù)

（約0.1/cm）

（約1/cm）

接液材質(zhì)

極部

GC（ガラスカーボン）

ボディ部

PFA

パッキン

カルレッツ®

試料水條件

溫度：0～80℃、 圧力：0～0.5MPa

ケーブル長

10m、Y端子（標準）※4

取付

ねじ込み口徑：R（PT）3／4

組合せホルダ

流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5

※4ケーブル長、端末処理形狀については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P（PVDF）またはEFA-30F（PFA）をご使用ください。

 

 

 

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