HORIBA堀場(chǎng)HF密度計(jì)HF-960EM

用于半導(dǎo)體制造工藝的HF濃度計(jì)HF-960EM

 HF-960EM是使用帶有*潤(rùn)濕部件的傳感器作為PFA的型號(hào)，并且符合半導(dǎo)體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實(shí)現(xiàn)了節(jié)省空間的安裝。提高穩(wěn)定性和重現(xiàn)性準(zhǔn)確性，并支持高達(dá)50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設(shè)置，HF濃度高達(dá)50％
高穩(wěn)定性/再現(xiàn)性精度
內(nèi)置溫度測(cè)量傳感器支持高達(dá)80℃的HF樣品測(cè)量。 FS精度達(dá)到±0.5％。
自動(dòng)量程功能
無(wú)污染/耐化學(xué)腐蝕傳感器
清潔結(jié)構(gòu)的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學(xué)腐蝕的傳感器，因此可以用于測(cè)量半導(dǎo)體工藝中使用的各種化學(xué)物質(zhì)。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進(jìn)一步減輕。通過(guò)將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性

仕様